設備特點：

1、顯影及蝕刻可獨立調壓的水平搖擺噴盤設計,噴灑更均勻,生產更流暢；

2、顯影配置機械式(或真空式)破泡裝置,避免消泡劑汙染,有效減少藥液浪費；

3、顯影設計有全自動測顯影點程式,方便生產操作使用；

4、精密補償蝕刻（二流體）設計，有效控制水池效應，提高做板均勻性，蝕刻線寬線距：1.5mil／1.5mil，蝕刻均勻性cov≥96％，蝕刻因子≥5；

5、退膜交叉斜噴式噴淋可更有效地沖刷退淨膜片；

6、圓錐滾筒式膜渣分離系統,可高效幹淨的收集處理膜渣。